第593章【新的技术痛点——光刻胶】

蔚蓝海岸实验室，紫星光刻机无尘工作室。

　　今天一早，罗晟接到消息便来到了这里，此时在这间两万多平米的无尘室，几十名工程师和罗晟都穿着工作无尘服在里面，他的手里正拿着一块晶圆流片反复观察欣赏，这尺寸间的艺术正是紫星光刻机的杰作。

　　站在他身边的一位工程师兴奋使然的道：“光源的转换效率达到了一致，也实现了正确的控制，团队攻克了250瓦光源，客户可以达到每小时155片晶圆吞吐量，而在实验室里，则是可以实现超过300瓦的光源功率，完成最后的测试紫星设备就可以正式出货了。”

　　全球几家顶尖的芯片制造商一直以来都坚持250瓦的光源功率是达成每小时155片晶圆生产量吞吐的必要条件，而ASML与光源技术供货商Cymer到现在为止还未能实现这一光源功率目标，这家公司两年前被ASML收购，但进展有限，这也是ASML在进来发展不顺的原因，虽说他们已经提前一步搞出了极紫外光刻机了。