极紫外光刻技术的另一大瓶颈无疑就是光刻胶了。
目前的行业现状是,半导体材料的供应都是十分集中的,而光刻胶技术算是全球集中度最高,并且壁垒也是最高的材料,被日本和北美合计占领了95%的市场份额。
三星电子半导体固然牛气哄哄,也却是很有实力,但实际上得看日本人的脸色,如果日本的半导体材料商在材料这块卡一下,三星半导体就要趴窝。
休息室里正在进行临时的技术交流探讨,一位负责光刻胶技术的工程师有条不紊的说道:“在248纳米和193纳米的光刻中,主流有超过二十年之久都是使用有机化学放大光刻胶CAR,这是一种用来制作图案成型的光敏聚合物。”
在极紫外光刻机下,光子专机CAR光刻胶并产生光酸,之后CAR光刻胶在曝光后的过程中进行光酸催化反应,进而产生光刻图案。
原理就是这么个原理。